Nanolithography
Материал из Encyclopedia Electronica
[ˈnænəʊlɪˌθɒgrəfɪ]
нанолитография
Создание «правильных» групп атомов и молекул на подложке из обычного вещества; шаг к разработке и конструированию первых деталей наномашин (Nanomachine), в т. ч. наноассемблера (Nano-assembler).
— Игорь Мостицкий (обсуждение) 14:49, 9 января 2026 (MSK)
